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三氯氢硅

三氯硅烷;三氯矽甲烷 10025-78-2 Cl3HSi 135.45 文档:
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X13520-x 三氯氢硅 咨询规格 咨询包装 咨询价格
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化学性质

危险属性

质量标准

采购询价

1. 易挥发性:三氯氢硅在常温常压下为无色透明液体,具有强烈的刺激性恶臭,并且极易挥发。它的沸点在31.8℃左右,表明在相对较低的温度下就会从液态转变为气态。

2. 与水反应性:三氯氢硅遇水会激烈反应生成有毒气体氯化氢(HCl),同时放出热量。这个反应非常剧烈,因此在处理三氯氢硅时需要特别注意防止其接触水分。

3. 自燃性:三氯氢硅暴露在空气中会自燃,显示出极高的反应活性。它与空气中的氧气发生反应,产生火焰和白色烟雾。这一特性要求在储存和运输过程中必须采取严格的安全措施,避免与空气接触。

4. 腐蚀性:三氯氢硅对许多金属具有腐蚀性,特别是在有水分存在的情况下,能腐蚀铁和不锈钢等材料。因此,在处理三氯氢硅的设备和容器通常需要使用特殊材料,如搪瓷或塑料。

5. 还原性:三氯氢硅可以作为还原剂,与某些化合物反应时能够提供电子。例如,它可以在某些化学反应中被氧化,释放出硅烷或其他产物。

6. 爆炸性:三氯氢硅不仅易燃,而且其蒸气与空气混合后可形成爆炸性混合物。这进一步增加了其在工业应用中的危险性,要求在使用过程中严格遵守安全

GHS分类

1. 易燃液体:类别1。

2. 自燃液体:类别1。

3. 遇水放出易燃气体的物质和混合物:类别1。

4. 急性毒性-经口:类别4。

5. 急性毒性-吸入:类别4。

6. 皮肤腐蚀/刺激:类别1A。

7. 严重眼损伤/眼刺激:类别1。

安全术语

1. S16:远离火源。

2. S26:不慎与眼睛接触后,请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。

3. S36/37/39:穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。

4. S43:一旦起火,使用灭火设备类型的灭火。

5. S45:若发生事故或感不适,立即就医(可能的话,出示其标签)。

6. S7/9:S43A - 危险品运输编号 UN 1295 4.3/PG 1 WGK Germany 1 RTECS VV5950000 FLUKA BRAND F CODES 4.5-21-31 TSCA Yes。

风险术语

1. R12:极度易燃。

2. R14:遇水反应剧烈。

3. R17:在空气中可自燃。

4. R20/22:吸入及吞食有害。

5. R29:遇水释放有毒气体。

6. R35:引起严重灼伤。

急救措施

1. 皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少15分钟,并就医。

2. 眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟,并就医。

3. 吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅,如呼吸困难,给输氧;如呼吸停止,立即进行人工呼吸,并就医。

4. 误食:用水漱口,给饮牛奶或蛋清,并就医。

消防措施

1. 灭火方法:可用干粉、干砂土灭火,禁止使用水、泡沫、二氧化碳、酸碱灭火剂。

2. 防护装备:消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火。

泄漏应急处理

1. 作业人员防护措施:建议应急处理人员戴携气式呼吸器,穿防静电服,戴橡胶耐油手套。

2. 应急处置程序:迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入;切断火源;应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服;尽可能切断泄漏源;合理通风,加速扩散;喷雾状水稀释溶解;构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水;如有可能,将漏出气用排风机送至空旷地方或装设适当喷头烧掉;也可以用管路导至炉中、凹地焚之。

废弃处置

1. 废弃处理方法:处置前应参阅国家和地方有关法规,用控制焚烧法处置。

安全数据表(SDS)

1. 化学品及企业标识:包括产品推荐及限制用途等信息。

2. 危险性概述:提供紧急情况概述和GHS危险性类别。

3. 成分/组成信息:列出组分及其浓度或浓度范围。

4. 急救措施:详细说明不同接触情况下的急救措施。

5. 消防措施:提供灭火方法和防护装备信息。

6. 泄露应急处理:描述作业人员防护措施和应急处置程序。

7. 废弃处置:说明废弃处理方法。

8. 物理和化学危险:描述物质的物理和化学危险性质。

1. 纯度:三氯氢硅的纯度通常要求在99%以上,以确保其化学反应的高效性和稳定性。高纯度的三氯氢硅能够减少杂质对反应过程的干扰,提高产品的质量和性能。

2. 水分含量:三氯氢硅中的水分含量应尽量低,因为水分会与三氯氢硅发生反应生成氯化氢气体,这不仅会降低产品纯度,还可能引发安全问题。

3. 总碳含量:在半导体制造中,微量的碳杂质会导致硅外延片的电学性能下降,因此需要严格控制三氯氢硅中的总碳含量。一般要求总碳含量小于5ppm。

4. 金属离子含量:金属离子如铁、铬等会对半导体器件的性能产生负面影响,因此三氯氢硅中的金属离子含量也需要严格控制。

5. 挥发性杂质:挥发性杂质会影响三氯氢硅的纯度和稳定性,因此需要对其进行控制。

6. 非挥发性杂质:非挥发性杂质同样会影响三氯氢硅的纯度和使用效果,因此也需要进行控制。

7. 外观:优质的三氯氢硅应为无色透明液体,无明显悬浮物或沉淀物。这表明产品在生产和储存过程中没有受到污染或分解。

8. 气味:三氯氢硅具有刺激性气味,但不应有过强的异味。如果气味异常强烈或刺鼻,可能表明产品中含有过多的杂质或已经变质。

9. 密度:三氯氢硅的密度也是一个重要的质量指标。通过测量密度可以间接判断产品的纯度和组成是否一致。

10. 沸点:三氯氢硅的沸点也是一个重要的物理参数。通过测量沸点可以进一步确认产品的纯度和组成是否符合要求。

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