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二硼化钛生产方法

碳化硼法又称为碳热还原法，其
2TiO2+B4C+3=2TiB2+4CO
气相沉积法 以TiCl4和BCl3为原料，在H2参与下，沉积温度为800～1000℃，可以制得磨料级和电子级产品，
TiCl4+2BCl3+5H2=TiB2+10HCl