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1.三甲基铝用作烯烃聚合催化剂、引火燃料,也用于制取直链伯醇和烯烃等,可用于金属有机化合物气相沉积。 2.在制造发光二极管时用作AsGa,GaP、GaAsP的P型掺杂剂。也是MOCVD工艺的原材料,用于沉积锌膜。 3.高纯三甲基铝用作MOCVD工艺的原材料,用于沉积铝膜。还可用作烯烃聚合的催化剂。
1.三甲基铝用作烯烃聚合催化剂、引火燃料,也用于制取直链伯醇和烯烃等,可用于金属有机化合物气相沉积。 2.在制造发光二极管时用作AsGa,GaP、GaAsP的P型掺杂剂。也是MOCVD工艺的原材料,用于沉积锌膜。 3.高纯三甲基铝用作MOCVD工艺的原材料,用于沉积铝膜。还可用作烯烃聚合的催化剂。