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四氟甲烷是什么，有什么用途啊？
16浏览
四氟甲烷的物化性质是什么，有什么用途啊？
1条回答
基本信息：中文名称 四氟甲烷中文别名 四氟化碳;英文名称 tetrafluoromethane英文别名 CARBON TETRAFLUORIDE;Tetrafluorocarbon;Refrigerant 14;perfluorocarbon;Perfluoromethane;Freon 14;Halon 14;Tetrafluor-methan;Carbon fluoride;Fluorocarbon 14;Tetrafluorkohlenstoff;Methane,tetrafluoro;CAS号 75-73-0分子式 CF4分子量 88.00430物化性质：外观性状 无色气体折射率 1.113 (-53ºC)储存条件 库房通风低温干燥,与易燃物分开存放熔点 ?184 °C(lit.)密度 3.04 (vs air)沸点 ?130 °C(lit.)蒸汽密度 3.04 (vs air)四氟甲烷的用途：

1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。 2.是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。

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提问者
西亚试剂问答
实验室女神
2025-09-05 20:10:03

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